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由于在產品尺寸交付時間、供應穩定性、產品可靠性、器件尺寸和性價比等多方面存在優勢，近幾年來，微機電系統(MEMS)解決方案正在逐步打破石英晶體解決方案在頻率控制和定時產品領域的完全壟斷局面。隨著Silicon Labs (芯科實驗室有限公司)專利的CMEMS技術的采用，公司在一體化頻率控制產品上獲得巨大突破，通過在先進的混合信號IC之上直接加工諧振器，來獲得完整的單片解決方案，這是真正的MEMS+CMOS協同設計。CMEMS技術為頻率控制工業帶來顯著的優勢，包括更小尺寸、更高性能、更低成本和更好的可擴展性。
日前，Silicon Labs宣布推出高集成度基于MEMS的Si50x振蕩器，旨在替代需要低成本、低功耗和批量生產的工業、嵌入式和消費類電子應用中的通用型晶體振蕩器(XO)，這些應用包括數碼相機、存儲和內存、ATM機、POS機和多功能打印機等。新型Si50x振蕩器基于CMEMS技術，此為首個在大批量生產中把MEMS架構直接構建于標準CMOS晶圓(Wafer)上，從而獲得完全集成的高可靠“CMOS+MEMS”單芯片解決方案。
與現有的頻率控制解決方案相比，Silicon Labs Si50x CMEMS振蕩器系列產品具有更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化性以及更高集成度，它采用專利技術的單體架構，在單晶片(Single-die)上集成MEMS諧振器和CMOS振蕩器電路。首創的CMOS+MEMS集成架構與Silicon Labs經過市場驗證的混合信號專業經驗相結合，將大幅改寫頻率控制產業：
CMEMS振蕩器在CMOS工廠大批量生產制造，此工廠具有標準生產線，支持完整振蕩器系統的晶圓探測，從而獲得最高級的質量和工藝控制。
CMEMS技術確保數據手冊中的性能具有10年的頻率穩定性，包括焊接偏移、負載牽引、VDD變化、運行溫度范圍、振動和沖擊，并保證操作壽命性能是其他公司XO和MEMS振蕩器的10倍。
CMEMS振蕩器緊密耦合MEMS諧振器、CMOS溫度傳感器和補償電路，從而在熱力瞬變時以及整個工業溫度范圍內提供高穩定的頻率輸出，在工業和嵌入式應用的長期運行期間提供可預知的可靠頻率參考。
CMEMS諧振器采用被動補償，在設計中使用可抵消溫度變動的材料。因此Silicon Labs可通過其創新的混合信號電路設計專業知識，來創建更小、更低功耗、更符合成本效益的振蕩器，同時確保優異的頻率和溫度穩定性以及抗老化性能。
Si50x CMEMS振蕩器支持32kHz~100MHz之間的任意頻率。頻率穩定性選項包括±20ppm、±30ppm和±50ppm，運行溫度范圍支持商業應用(-20℃至+70℃)和工業應用(-40℃至+85℃)。CMEMS振蕩器還提供豐富的現場和工廠可編程特性，包括低功耗和低周期抖動模式、可編程的上升/下降時間，以及可配置高/低輸出使能功能。
Si50x CMEMS振蕩器系列產品為客戶解決傳統方案中常見的供應鏈問題。Si50x振蕩器由中芯國際(SMIC)生產制造。通過規模效應和質量控制，這一戰略性合作關系可大大增加制造和供應的可預見性。由于CMEMS振蕩器是集成的單片IC，采用廣泛生產的模塑復合物4引腳封裝，再次確保可預見和可靠的供應鏈。
IHS MEMS和傳感器總監及資深首席分析師Jeremie Bouchaud表示：“時序產品市場已迎來轉折點，最新一代基于MEMS的振蕩器極具成本效益，能可靠替代傳統晶體振蕩器。Silicon Labs CMEMS技術把MEMS諧振器和頻率控制電路集成到單晶片器件中，為批量電子系統設計提供最完整的晶體振蕩器替代解決方案。”